213nm深紫外脉冲激光器eMOPA213-20是采用DPSS被动调Q激光技术的213nm深紫外固体激光器,以Nd:YAG激光作为MOPA主控振荡器并配备二极管泵浦
激光放大器,获得*高脉冲能量和激光平均功率。
该213nm MOPA主控振荡器系列激光器采用了微芯片激光设计,脉宽可达1ns脉宽,峰值功率可达100KW。
这种213nm深紫外脉冲激光器eMOPA213-20结构紧凑、坚固，易于集成到仪器和计量设备中,非常适合激光
微加工,激光打标,生物光子学和生命科学应用。
213nm深紫外脉冲激光器eMOPA213-特点：
极短脉冲
外部/内部触发
单脉冲工作
光束质量*
脉冲-脉冲稳定性*
输出能量稳定
脉宽<1ns
重复频率1Hz-1000Hz
单脉冲能量>20uJ
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说明:MOPA主控振荡器并配备二极管泵浦
激光放大器的配置, 非常方便倍频和合频转换,采用高纯度非线性
晶体将波长从基频光降低到532nm、355nm、266nm和213nm。
该MOPA主控振荡器系列激光器各种型号能够产生脉冲能量高达200μJ,平均功率高达200mW的激光,重复频率既可以内部触发也可以外部触发控制,重复频率从1Hz到1KHz。
213nm深紫外脉冲激光器eMOPA213-规格参数
波长：213nm
峰值功率：>20千瓦@1000赫兹
脉冲能量：>20微焦@1000 Hz
光束发散（全角）：<3 mrad
光束椭圆度：<3:1
光束直径：0.6±0.3 mm（激光出口处）
空间模式：TEM00
脉冲重复率（带外部触发器）：单次触发（按需脉冲）–1 kHz
脉冲宽度（fwhm）：<1.0ns
极化率：>100:1，水平
超过6h的脉冲能量漂移 1）：<±5%
脉冲间能量稳定性 2）：<3%
激光分类：4/IV
光输出：自由光
电气数据：
耗电量：<100W
线路电压：90-265 V ac（50-60 Hz）
接口：USB/RS232
外部触发用BNC连接器（TTL）
用于24 V直流输出的SMB连接器
其他：预热时间：<10分钟
工作温度：22-32°C
激光头尺寸：56 x 140 x 265 mm（H x W x L）
独立装置尺寸：129.5 x 177 x 180 mm（H x W x L）
选项：电子束阻挡器
同步信号输出（上升时间<1.5ns）
1）1KHz激活闭环控制连续运行10分钟后平均10秒以上
2）连续运行10分钟后，超过1000个脉冲@1KHz
微型266nm单频亚纳秒激光器
