等离子体光源|激光等离子体光源|EUV光源|LPP-EUV极紫外光源-孚光精仪

真空紫外VUV相干光源 FPOXI-PEV
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真空紫外VUV相干光源PEV系列是114nm真空紫外激光器光源,非常用于光电子能谱PES应用的激发光源。采用深紫外激光技术实现114nm和11eV光子能量的真空紫外光源。
激光等离子体EUV光源 FPIST-LPP-EUV
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这款激光等离子体EUV光源是采用激光诱导等离子体LPP技术制造的LPP-EUV光刻光源,具有超高亮度和超低碎屑debris独特*势,非常适合取代Cymer公司LPP-EUV极紫外光源用于光刻。
宽带等离子体光源 FPIST-XWS-65
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这款宽带等离子体光源XWS是激光泵浦等离子体超亮度光源,输出光谱范围180nm ~2500nm,输出光功率高达40W,可替代传统气体放电光源（如氙灯、氘灯、钨灯等）以及LED光源,具有*宽的光谱范围和*高的光谱亮度。