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  • 低温宏观光致发光系统是专业低温光致发光研究设计的宏观光致发光测量系统,广泛用于宏观PL/RT PLE&EL,PL光致发光成像。
  • 高速光致发光扫描成像仪是为LED光致发光成像绘图设计的工艺级光致发光mapping绘图系统,具有较高的光致发光mapping绘图成像速度。高速光致发光扫描成像仪对应2英寸晶圆按2mm/步扫描,30秒即可完成扫描mapping成像。
  • 显微光致发光光谱扫描系统是具有显微光致发光扫描mapping功能的显微光致发光光谱仪器,广泛用于显微/宏观PL/RT PLE&EL,PL光致发光成像。
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