离轴抛物远紫外反射镜是采用离轴抛物面镜技术加工的XUV远紫外反射镜,属于反射式和掠入射式反射镜。
抛物面反射镜是光学系统中常见的非球面镜,能够消除球差,可有效把光束聚焦到一点或聚焦到无限远。
抛物面反射镜技术特点
反射式和掠入射式反射镜
尺寸***高达到1200mm
典型表面精度：λ/15@633nm P-V (λ/70 RMS)
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抛物面反射镜技术参数
母焦距Parent focal length (PFL)是母抛物面焦距,计算公式是Y
2=2pX。
倾斜焦距Slant Focal Length (SFL)：又叫反射有效焦距Reflected Effective Focal Length (EFL),是抛物面焦点与抛物镜机械中心的距离。
纬向半径Zonal Radius (ZR):母抛物线光轴与光学中心线的距离,用β表示。
离轴距离Off-axis Distance (OAD)：母抛物线光轴与内部边缘的距离
光学中心线Optical Centerline:平行于目抛物线光轴并穿过机械中心的直线。
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离轴抛物远紫外反射镜规格
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参数 |
标准型 |
增强型 |
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材料 |
Zerodur, Astrositall, FS, ULETM , Si, Pyrex, BK7 |
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波长范围 |
9 - 200nm |
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尺寸 |
up to 500mm |
up to 1200mm |
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通光孔径 (CA) |
<90% |
up to 100% |
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焦距公差 |
±0.5% |
±0.01% |
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微粗糙度(RMS) |
~2nm |
≤0.4nm |
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误差斜率, (RMS) |
1arcsec -纵向,
4arcsec - 横向 |
0.3arcsec -纵向,
0.8arcsec -横向 |
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形状精度 |
≤λ/30@632.8nm |
λ/100@632.8nm |
