同步辐射反射镜是专业为同步辐射应用设计的同步辐射镜和*紫外反射镜。
同步辐射和*紫外光学是当今科学和工业的尖端技术,由于涉及到超级小的波长和超高真空腔体,同步辐射设备仪器往往涉及原子尺寸的研究,因为,对于同步辐射反射镜的要求很高。
同步辐射反射镜采用表面误差定义掠入射光学性能,定义实际镜片与理想镜片表面的***大PV偏离和和平均RMS偏离。由于聚焦光学镜片质量和掠入射光学镜片质量由镜片斜分布决定,通常采用RMS误差斜率定义镜片表面精度。通常误差斜率范围从0.5arcsec/rms(平面)到1arcsec/rms(球面)。
同步辐射反射镜表面结构
平面-可获得误差斜率
球面和柱面-较*的斜率误差
环面,椭圆/抛物线圆柱,椭圆环面-一般的误差斜率
椭球(旋转),抛物面,双曲面,自由曲面-一般的误差斜率
同步辐射反射镜镜片材质
低同步辐射通量:微晶玻璃,Sitall CO-115M,熔融石英FS, 零膨胀
玻璃ULE,光学玻璃(
派莱克斯玻璃,BK7)
高同步辐射通量:单晶硅,
碳化硅CVD,铜化学镀镍,铝化学镀镍
同步辐射反射镜镜片镀膜
同步辐射反射镜镜片镀膜材料通常有Au, Pt, Rh, Ni, Pd, Al, Si, C, Ru, SiO2, Al/MgF
Platinum |
Gold Standard EUV (Au_40 nm / Cr_binder) |
Nickel |
R~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm |
R ~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm |
R~ 60 - 68 % @ 200 nm - 120 nm |
R~ 60 - 69 % @ 65 nm - 27 nm |
R ~ 55 - 65 % @ 65 nm - 25 nm |
R~ 56 - 60 % @ 120 nm - 40 nm |
R~ 55 - 60 % @ 27 nm - 22 nm |
|
R~ 60 - 70 % @ 41 nm - 30 nm |
R ~ 60 - 65 % @ 22 nm - 12 nm |
R~ 61 - 70 % @ 25 nm - 15 nm |
R~ 30 - 60 % @ 30 nm - 20 nm |
R ~ 50 - 55 % @ 12 nm - 10 nm |
R~ 70 - 71 % @ 15 nm - 9 nm |
R ~ 30 - 40 % @ 20 nm - 16 nm |
图示:膜厚度在1埃时的反射率和能量带宽,特定入射角的Au, Be and C镀膜高能截止曲线.