这超高真空超低温四探针SPM是超高真空室内应用设计的UHV极低温多探针扫描探针显微镜，得益于多探针SPM*异性能,这款产品可用于纳米技术。
这超高真空超低温四探针SPM采用四个独立控制的探针扫描显微镜，用于器件评价和超低温等宽温度范围内的微纳尺度表面电导率测量。
超高真空超低温四探针特征
利用SEM实现纳米级定位
每四个探针都有STM/AFM功能
纳米尺度四端电导测量
分子束外延超高真空室
准备*进行光辐照、发射测量、高频测量
孔效应，自旋测量适用于使用超导线圈（可选）
超高真空超低温四探针SPM应用
用微纳米尺度测量导电薄膜的四端电阻率
纳米结构和纳米点的电导率测量
有机导电层和半导体电导率的温度依赖性测量
纳米器件的局部电特性分析
不同温度下的STM成像
广泛应用于表面分析
超高真空超低温四探针SPM规格参数
分辨率: XY<2pm, Z<0.2pm
磁场：无
高真空：<10^-8Pa
超低温：3-100K可调温度
STM: 可选配
其它：可以配备安装透镜，用于连接其它光学仪器
| 四探针STM头 | |
| ***大扫描范围 (X×Y×Z) | 0.38 × 0.38 × 0.38 µm3 @ 5 K |
| ***小分辨率（STM) | X, Y: 0.1 nm (Atomic resolution) Z: Under 0.02 nm |
| 样品和探针台 | MAX range X, Y: 5 mm; Z: 3 mm |
| FE-SEM | |
| ***小分辨率 | 20 nm (acceleration voltage 25 kV, WD 15 mm, probe current 1 nA) MAX field of view 3 mm × 3 mm (acceleration voltage 5 kV) |
聚焦离子束蚀刻系统
超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜
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