高精度光学传递函数测量仪是六轴电动
MTF测试仪器,软件控制MTF测试分析,满足有限/有限对象/图像共轭光学测量应用。
高精度光学传递函数测量仪构成
无限对象距离的对象生成器
镜头准直器
f=200mm/40mm, 通光孔径28mm
头发十字标线(10微米线宽)
LED照明
步进电机驱动,软件控制准直器旋转机构
电动电控样品台
步进电机驱动360°精密旋转工作台用于对称性测量
-1个透镜安装适配器平面度 -螺纹或根据协议安装(标准:C型安装)
-查询中的其他适配器
图像分析仪,3轴电动
-步进电机驱动的精密聚焦载物台,行程50 mm,分辨率0.1μm
-步进电机驱动的精密场载物台,50 mm行程,0.1μm分辨率
-步进电机驱动的精密垂直载物台,行程25 mm,分辨率0.1μm
-高质量显微镜
--摄像机适配器
--测量物镜50x,孔径=0.8
--概述objective10x/0,25用于调整
--带测量物镜的显微镜放大倍数:12倍
--视场=(0.5 x 0.4)mm
高精度光学传递函数测量仪测量功能
MTF-开/关轴
-MTF-切向/矢状
-自动对焦曲线(适用于所有可能的图像高度和方位角)
-对称性测量
-EFL(有效焦距)
-对母片的BFL
-纵向和横向色差
--像场曲率
--散光
--失真
通过单独的软件模块从测量数据
高精度光学传递函数测量仪技术参数
EFL范围:0~20mm
样品***大自由孔径:25mm
MTF再现性:±0.02
MTF截止频率:200 lp/mm(可扩展)
EFL测量精度:±0.5%
***大图像高度:50毫米,图像的自动和软件控制定位
根据样品参数的分析仪
***大波束赤纬(u´+w´):53°
***大物体角度u:100°
方位测量:360°,自动,软件控制旋转,任意数量方位角
标准光谱范围:400nm~700nm
光谱测量:所有可用的LED波长都可能,其他光源打开查询,软件支持纵向和横向色差的测量
(标准:手动*换LED头)
自动对焦:是的,适用于任何可自由选择的频率
自动测量序列:是的,测量由自由控制
可编程测量序列
-测量原理:边缘/狭缝的图像评估,切向/矢状
-手动/交互式测量:是,通过操纵杆和手动测量