台式薄膜沉积系统

台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项。可装配电子束蒸发源E-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。
台式薄膜沉积系统是研究和开发的理想选择，因为它具有模块化的特性。所有基本元件都可以访问，允许对各种组件进行测试，并对几种薄膜沉积技术中涉及的工艺进行彻底探索，包括：表面分析样品制备，溅射，热蒸发，有机物理气相沉积等
基本型号中支持的方法包括：金属和光刻胶剥离工艺，EM样品制备，新型涂料研发，磁控溅射沉积*化
用户可购买基本型号，在必要时升级到*高级别的组件，这些升级是模块化的，安装简单，减少了系统停机时间和安装成本。

台式薄膜沉积系统配有一个80升/秒的泵，可实现高达8×10^-7毫巴的基本真空，并可实现高至100毫米的样品尺寸。该系统还配有一个多样品支架，可同时容纳几个较小的样品。
台式薄膜沉积系统可升级300升/秒的泵，可实现4×10^-7毫巴的基本真空。用户也可以选择一个较大的HEX-L室，其空间可容纳多达150毫米的样本，或多个较小的样本。
台式薄膜沉积系统由一个六面铝框架高真空室组成，该室重量轻，但足够坚固，适用于大多数物理气相沉积应用。六边形结构支撑六块模块化面板，包括：
空白面板，“视口”面板，沉积源面板，PLD仪表过程控制面板，包括质量流量控制器和厚度控制，用于现场监测的QCM面板
该设计使用标准化配件，包括用于气体和水连接的Hamlet快速接头，以及用于样品台和部件附件的蝶形螺母。这种标准化使切换面板和根据特定应用调整系统变得简单。模块化设计还使维护和重新配置*快、*高效。