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混合异质结构分子束外延系统
  • 混合异质结构分子束外延系统适合А3В5和А2В6异质结构生长-孚光精仪

混合异质结构分子束外延系统

这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,非常适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。
型号:
FPSEM-STE3526
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,非常适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。
混合异质结构分子束外延系统是提供从А3В5-反应器到А2В6-反应器的超纯超高压基板传输,避免生长界面的不受控制的污染。
还可以配备V族和VI族元素的阀裂解单元以及所有必要的原位分析工具。
混合异质结构分子束外延系统*势:
•“实验室到工厂”的概念,允许开展从基础研究到异质结构试生产的活动
•铝(冷唇)专用渗出细胞,操作稳定,镓(热唇)提供低椭圆形缺陷密度
•在系统基本配置中对生长过程进行现场监测的所有必要工具
•特别设计的生长操纵器,提供高温均匀性和加热/冷却速率动态
•安装期间的有效技术支持,包括基本工艺转移
•简单的系统操作和定期的技术维护
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混合异质结构分子束外延系统参数:
烘烤后生长室的***终真空度,Torr <5×10-11
***大基板直径,mm 1003×2block
100mm晶圆的厚度和复合不均匀度,% ±1
“源到基片”距离,mm 135÷210
渗出细胞百叶窗设计 基于磁耦合旋转运动的无冲击驱动旋转机构
百叶窗叶片材料 钽、钼或PBN(可选)
生长机械手加热元件的设计 PBN/PG/PBN
生长操纵器的***高工艺温度,不低于,℃ 900
NH3-MBE1200
准备室中基板脱气温度,不低于,℃ 650
III氮化物为1100
生长室烘烤温度,不低于,℃ 200
离子泵容量,不小于,l/s
–生长室(III-NTMP
–准备室
–负载锁定

800 (2000)
500
300

 

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